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無塵潔凈室風淋室與傳遞窗基本常識

一、無塵潔凈室風淋室與傳遞窗是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、風淋室與傳遞窗能把無塵潔凈室內(nèi)的細菌之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。

二、無塵潔凈室風淋室與傳遞窗的原理。潔凈室風淋室與傳遞窗是用HEPA、空氣凈化設備，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說**干凈。潔凈室內(nèi)除了風淋室與傳遞窗還有高效過濾器和高效送風口，潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此應該采用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

三、無塵潔凈室風淋室與傳遞窗中的三塵。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的更好凈化設備之一，它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域，達到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。

四，無塵潔凈室風淋室與傳遞窗主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照慣例，無塵凈化**主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分所以風淋室與傳遞窗達到標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵室所用的風淋室與傳遞窗并非**沒有一點灰塵，還需要加FFU過濾單元和高效送風口而是控制在一個非常微量的單位上。當然風淋室與傳遞窗這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是*然的要求。

五、風淋室與傳遞窗對無塵潔凈室每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了無塵標準的**。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于**，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K**。