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潔凈室以送風-過濾凈化-回風為循環，能使室內環境中的灰塵、細菌、微粒等固體顆粒物大大減少，以達到相應的潔凈度來滿足生產需要。簡單來說，潔凈室工程是一個與“氣流”的工程，那么在潔凈室的運作過程中，氣流受那些因素的影響呢?

一、氣流形式

氣流形式一般分為亂流和層流，亂流是不規則的氣流，而層流是指平行流動的氣流。亂流的凈化原理是“稀釋”，層流的凈化原理是“活塞推出”——把潔凈室當作一個汽缸，那么層流便是一個活塞，潔凈新風直接把室內空氣推出去。在氣流形式的選擇上，需要兼顧多方因素綜合統籌考慮。

二、影響因素

1、氣流的速度流向受室內潔凈度等級影響，在相應潔凈等級下選擇的過濾器過濾效率將影響氣流速度，若室內有產塵設備，可采用較低效率的過濾器并加快換氣速度來保障室內潔凈度，或采用較率的過濾器來降低氣流流速，以此節約能耗。

2、氣流在遇到障礙物時會形成后退，新風的持續傳輸，導致氣流會在原地形成渦流。因此潔凈室內的各儀器設備等都應合理放置。可以在在各操作桌面鉆上回風孔，將使渦流表象削減至較低水平，在室內裝修材料的選擇上也應合理合規，提前做好設備的規劃，盡可能避免氣流變成渦流。

3、影響無塵設備的氣流要素很多，如制程設備、人員、整理室拼裝材、照明器具等都會對氣流速度造成一定影響，因此還要注意不同設備表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，這樣可以確保作業人員在工作時，氣流可從制程區內部流向作業區，而將微塵帶走，若分流點配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至制程區之后，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。