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進入萬級潔凈室的程序：

1.踏上換鞋區入口之地板前，應該先將外鞋脫下。2.將外鞋置于一般鞋之鞋柜之中。3.進入換衣區換穿無塵衣。4.依規定進入。

風淋室作空氣浴：

1.進入潔凈室之前，應該先經過風淋機吹洗。2.風淋室內，不可超過2個人同時進入。3.為避免影響空氣正常循環及除塵效果，人員不可倚靠在空氣洗凈室的門或墻上。4.人員應該站立于空氣洗凈室中央踏腳板上輕微搖動雙手、雙腿，以幫助灰塵掉落。5.風嘴方向正常應是向下吹氣，請勿隨意撥弄調整好的風嘴方向，以求達到**大的除塵效果。

進入十級潔凈室注意事項：進入十級潔凈室應再換換穿潔凈室專用之無塵衣。

穿著無塵衣之規定為：

1.頭發應該蓋在頭罩之內，必要時可使用發罩。2.口、鼻應該蓋在口罩之內：口罩使用后即應丟棄，不可重復使用。

3.頭罩下擺應該**扎入無塵衣之衣領內。4.無塵衣穿著程序：(1)發罩(2)口罩(3)頭罩(4)無塵衣(5)無塵鞋(6)手套。

5.當穿上無塵服時，識別證應該掛在無塵服外。6.穿戴手套之前須先確定正面，并作充氣試驗，確定無漏方可使用。

7.手套穿戴后，手腕部份應藏于無塵衣袖內。8.進入潔凈室前應再經過空氣洗凈室，空氣洗凈室每次至多2人進入。

脫無塵服之注意事項：

1.出潔凈室后脫下手套洗手完畢才可開始脫無塵鞋、無塵衣。2.脫無塵服程序：(1)手套(2)鞋子(3)衣服(4)頭罩(5)發罩(6)口罩。

潔凈室丟棄物的處理：

1.所有丟棄物及用過之化學品應依規定之方式處理及傾倒。2.隨時保持整潔，勿將垃圾留給別人，棉花棒、廢棄物勿隨手丟，應置入垃圾桶內。3.勿將酸及有機溶劑混合傾倒，以免爆炸。4.各種酸鹼廢液需倒入指定之排放口，以便中和后排放。5.有機溶劑分別倒入容器中儲存，勿倒入排水系統中。

其他注意事項：

1.非必要勿進入潔凈室，可利用傳遞箱傳遞芯片及物品。2.勿在潔凈室內踏步來回走動。3.非必要禁止停留在潔凈區域內。