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無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵車間**主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵車間。

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率**之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

（1）水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。

缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

（2）垂直層流式：房間口板**以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，口板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

（1）潔凈隧道（CleanTunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域**覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。

此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易；B.維修設備時可在維修區輕易執行。

（2）潔凈管道（CleanTube）：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為**適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

（3）并裝局部潔凈室（CleanSpot）：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

更多的了解無塵車間，才能夠選擇合適自己的。以上的內容有凈化傾情奉獻，需要可以及時聯系我們，希望可以幫到你。