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用臭氧氧化法處理廢水所使用的是含低濃度臭氧的空氣或氧氣。臭氧是一種不穩定、易分解的強氧化劑，因此要現場制造。臭氧氧化法水處理的工藝設施主要由臭氧發生器和氣水接觸設備組成。大規模生產臭氧的**方法是無聲放電法。制造臭氧的原料氣是空氣或氧氣。

原料氣應該經過除油、除濕、除塵等凈化處理，否則會影響臭氧產率和設備的正常使用。用空氣制成臭氧的濃度一般為10~20毫克/升;用氧氣制成臭氧的濃度為20~40毫克/升。這種含有1~4%(重量比)臭氧的空氣或氧氣就是水處理時所使用的臭氧化氣。

臭氧發生器所產生的臭氧，通過氣水接觸設備擴散于待處理水中，通常是采用微孔擴散器、鼓泡塔或噴射器、渦輪混合器等。臭氧的利用率要力求達到90%以上，剩余臭氧隨尾氣外排，為避免污染空氣，尾氣可用活性炭或霍加拉特劑催化分解，也可用催化燃燒法使臭氧分解。

生物活性炭組合工藝也涉及到臭氧氧化技術。臭氧氧化技術具有氧化能力強、反應速度快、不產生污泥、無二次污染的特點。臭氧能夠有效的氧化分解廢水中的有機物和氨氮，具有接觸時間短、處理效率高、不受溫度影響等特點，并具有殺菌、除臭、除味、脫色等功能。

臭氧之所以表現出強氧化性，是因為分子中的氧原子具有強烈的親電子或親質子性，臭氧分解產生的新生態氧原子也具有很高的氧化活性。并且，證明對于處理洗浴廢水中陰離子洗滌劑氧化降解，具有較好的效果。但是，臭氧與有機物反應具有選擇性，不易將所有有機物*分解為CO2和H2O。

因此，一般采用臭氧氧化與其它處理方法聯用的工藝，去廢水中有機污染物的方法應用較為廣，如臭氧與活性炭聯合，臭氧與膜聯合等。