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無塵車間不同**空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點(diǎn)：對于300000級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器;空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效過濾器三級過濾器;或亞空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。

分類：

1.亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入無塵室，并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化**(換氣次數(shù)越多，凈化**越高)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制

無塵室

程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。

2.層流式

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率**之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

⑵垂直層流式：房間口板**以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。

優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，口板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3.復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

⑴潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域**覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。

此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。

構(gòu)成：

⑴口板系統(tǒng)：包括吊桿、綱梁、口板格子梁。

⑵空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。

⑶隔墻板：包括窗戶、門。

⑷地板：包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構(gòu)造：一般是用鋼筋或骨水泥

五大特性：

1*久性;2成本;3適應(yīng)性;4維護(hù)性;5清洗。

⑴*久性：

無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的*久材料。而*久性，同時(shí)也依賴無塵室等級來建造。半導(dǎo)體Fabs傾向選擇鋁，基于它的*久性，，它不是便宜的物質(zhì)。

⑵清洗：

在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止過濾性病毒或細(xì)菌的污染之特性。在市場，清洗真正地是一個(gè)**重要的企業(yè)。

⑶成本：

微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。"錢"將成為一個(gè)很重要的考慮因素。

⑷適應(yīng)性：

一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致*的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將**初的設(shè)計(jì)定型。

⑸維護(hù)性：

對無塵車間C/R而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、口板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級。在應(yīng)用力面、口板、地板及墻壁三者之中**重要的為口板，其包含　HEPA　及　ULPA　等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要，便其分開來，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間，曾有人說：若建造之預(yù)算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其口板將趨于更貴的地步，其實(shí)口板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其應(yīng)該嚴(yán)格地過濾粒子，故其設(shè)計(jì)應(yīng)該**。